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      • Phoenix Nanotom M
        推動微電子領(lǐng)域研發(fā)創(chuàng)新

         

        nanotom
        項(xiàng)目背景
        法國某微電子研究平臺由多家知名半導(dǎo)體制造企業(yè)、國防科技公司和研究機(jī)構(gòu)組成,致力于通過合作與前沿技術(shù)推動微電子領(lǐng)域的研發(fā)與創(chuàng)新。
        挑戰(zhàn)?

        該平臺需要一套高分辨率CT系統(tǒng)用于微電子研發(fā)和失效分析,以提升其研究能力,優(yōu)化微電子設(shè)計(jì)與性能。關(guān)鍵需求:技術(shù)性能與成本效益的最佳組合。

        解決方案

        經(jīng)過全面評估,平臺最終選擇維睿泰的Phoenix Nanotom M高性能CT系統(tǒng),主要基于以下優(yōu)勢:

        • 高分辨率:適用于分析具有復(fù)雜結(jié)構(gòu)的微電子產(chǎn)品
        • 高性價比:在技術(shù)價值和成本效益方面優(yōu)于其他解決方案
        • 技術(shù)支持:基于雙方長期建立的信任與合作關(guān)系
        Phoenix Nanotom M
        Phoenix?Nanotom M
        成果與影響?

        Phoenix Nanotom M的投入使用使該研究平臺成為微電子CT成像領(lǐng)域的先驅(qū):??

        • 提升失效分析能力,精確定位缺陷
        • 推動微電子設(shè)計(jì)領(lǐng)域的先進(jìn)研發(fā),促進(jìn)產(chǎn)學(xué)研合作
        • 為未來新項(xiàng)目和合作伙伴關(guān)系創(chuàng)造更多可能性
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