Phoenix Nanotom M
推動(dòng)微電子領(lǐng)域研發(fā)創(chuàng)新
項(xiàng)目背景
法國(guó)某微電子研究平臺(tái)由多家知名半導(dǎo)體制造企業(yè)、國(guó)防科技公司和研究機(jī)構(gòu)組成，致力于通過(guò)合作與前沿技術(shù)推動(dòng)微電子領(lǐng)域的研發(fā)與創(chuàng)新。挑戰(zhàn)?
該平臺(tái)需要一套高分辨率CT系統(tǒng)用于微電子研發(fā)和失效分析，以提升其研究能力，優(yōu)化微電子設(shè)計(jì)與性能。關(guān)鍵需求：技術(shù)性能與成本效益的最佳組合。
解決方案
經(jīng)過(guò)全面評(píng)估，平臺(tái)最終選擇維睿泰的Phoenix Nanotom M高性能CT系統(tǒng)，主要基于以下優(yōu)勢(shì)：
- 高分辨率：適用于分析具有復(fù)雜結(jié)構(gòu)的微電子產(chǎn)品
- 高性?xún)r(jià)比：在技術(shù)價(jià)值和成本效益方面優(yōu)于其他解決方案
- 技術(shù)支持：基于雙方長(zhǎng)期建立的信任與合作關(guān)系
成果與影響?
Phoenix Nanotom M的投入使用使該研究平臺(tái)成為微電子CT成像領(lǐng)域的先驅(qū)：??
- 提升失效分析能力，精確定位缺陷
- 推動(dòng)微電子設(shè)計(jì)領(lǐng)域的先進(jìn)研發(fā)，促進(jìn)產(chǎn)學(xué)研合作
- 為未來(lái)新項(xiàng)目和合作伙伴關(guān)系創(chuàng)造更多可能性